Kumamoto University Repository System: スピンコーティングにおける回転円板上の三次元境界層流れに関する研究

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タイトル	:	スピンコーティングにおける回転円板上の三次元境界層流れに関する研究
著者	:	木村, 誠一
刊行年月日	:	2008-3-25
要約(Abstract)	:	本研究の目的は、スピンコーティングにおける様々なパラメータが、回転円板上の気流に及ぼす影響を実験により把握し、スピンコーティングによる高精度な薄膜形成技術に貢献することを目的とする。
収録種別	:	博士論文
出版社(者)	:	熊本大学
URI	:	http://hdl.handle.net/2298/11218
出現コレクション	:	博論甲自（工学）

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