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Title :スピンコーティングにおける回転円板上の三次元境界層流れに関する研究
Authors :木村, 誠一
Issue Date :25-Mar-2008
Abstract :本研究の目的は、スピンコーティングにおける様々なパラメータが、回転円板上の気流に及ぼす影響を実験により把握し、スピンコーティングによる高精度な薄膜形成技術に貢献することを目的とする。
Type Local :博士論文
Publisher :熊本大学
URI :http://hdl.handle.net/2298/11218
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