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タイトル :2. 半導体パルスパワー電源のプラズマ応用機器への適用(<小特集>半導体パルスパワー電源の現状と今後〜プラズマ研究をささえる半導体パワーデバイス〜)
著者 :佐久川, 貴志
浪平, 隆男
勝木, 淳
秋山, 秀典
長田, 俊宏
小金澤, 竹久
刊行年月日 :2005-5-25
収録雑誌名 :プラズマ・核融合学会誌
巻 :81
号 :5
開始ページ :350
終了ページ :354
要約(Abstract) :Recently, high-repetition-rate all-solid-state pulsed power generators with long lifetime and high reliability, have been developed for industrial applications with plasmas, such as high-repetition-rate pulsed gas lasers, high energy density plasma (EUV sources) and water discharges. Nowadays, power semiconductor device technology can improve the performance of fast and high-power switching devices. In practical systems, however, semiconductor switches are used with the assistance of magnetic switches because the semiconductor switches are not capable of driving the usual generators by themselves. These generators consist of semiconductor switches, step-up pulse transformers and magnetic switches. Progress of all-solid-state pulsed power generators is reviewed with particular emphasis on industrial applications with plasmas.
URL :http://ci.nii.ac.jp/naid/110006282109
収録種別 :雑誌掲載論文
出版社(者) :社団法人プラズマ・核融合学会
権利(Rights) :社団法人プラズマ・核融合学会
備考 :本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである
URI :http://hdl.handle.net/2298/20290
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